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本发明公开了一种一次溅射获得多种具有不同W/Ti比例的W-Ti-N薄膜的方法，该方法选用40Cr不锈钢作为基材、选用纯度均为99.99％以上的W和Ti作为溅射靶材，通过改变基材相对于靶材的位置(溅射台与双靶均成45°)，在一次溅射过程中即获...
该专利属于无锡润鹏复合新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡润鹏复合新材料有限公司授权不得商用。

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