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面漆组合物和光刻法制造技术
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文档序号:8677486
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面漆组合物和光刻法。提供了一种用于浸没式光刻法的面漆组合物,所述面漆组合物包括:聚合物体系,所述聚合物体系包括基质聚合物和表面活性聚合物,其中在所述组合物中,基质聚合物具有与表面活性聚合物的重量比相比较高的重量比,并且其中该表面活性聚合物具...
该专利属于罗门哈斯电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗门哈斯电子材料有限公司授权不得商用。
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