下载面漆组合物和光刻法的技术资料

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面漆组合物和光刻法。提供了一种用于浸没式光刻法的面漆组合物,所述面漆组合物包括:聚合物体系,所述聚合物体系包括基质聚合物和表面活性聚合物,其中在所述组合物中,基质聚合物具有与表面活性聚合物的重量比相比较高的重量比,并且其中该表面活性聚合物具...
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