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一种等静压碳化硅石墨坩埚成型装置，缸体内设有上活塞和下活塞，上活塞和下活塞之间设有钢丝层，钢丝层内设有超高压腔，橡胶模具和金属模具通过支撑架安装在超高压腔内，超高压腔与预加压泵和增压油缸连通。本发明提供的一种等静压碳化硅石墨坩埚成型装置，利...
该专利属于中科恒达石墨股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科恒达石墨股份有限公司授权不得商用。

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