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本发明涉及一种用于沟槽刻蚀设备零件的清洗方法，包括以下步骤：选择树脂砂作为主要砂材，调整喷砂机喷出工作压力为0.35Mpa-0.5Mpa；将喷砂机的喷砂头对准待清洗的沟槽刻蚀设备零件上的附着物区域开始喷砂，利用砂材冲击掉附着于所述沟槽刻蚀设...该专利属于上海科秉电子科技有限公司;科治新技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海科秉电子科技有限公司;科治新技股份有限公司授权不得商用。