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本发明提供了一种喷嘴单元、基板处理装置和基板处理方法，以节省光刻胶的消耗量。本发明的基板处理装置包括：板，支承基板；喷嘴单元，向被所述板支承的所述基板涂敷药液；驱动单元，使所述基板或所述喷嘴单元移动，以使置于所述板上的基板与所述喷嘴单元之间...
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