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本实用新型提供了一种晶圆检查装置，用于在快速热退火系统的运输过程中对晶圆进行检查，包括激光源和设于装载盘表面的传感器，所述激光源正对着所述装载盘所在平面，所述传感器与控制机台连接，进行数据传输。本实用新型通过激光源和传感器的匹配连接，采集激...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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