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于本发明第一实施态样中，是提供一基材载件，其包含一外壳，其可密封且可屏蔽至少一基材。该基材载件包括一通至该外壳的第一端口，且其适于在基材载件关闭时使气体流入该外壳。本发明亦提供其它多种实施态样。...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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