下载纳米压印装置的技术资料

文档序号:8669097

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本实用新型公开了一种纳米压印装置,包括顶板、气缸、腔体、加热盘和底座,所述气缸的缸体与顶板连接,气缸的活塞杆与腔体连接,所述腔体与底座活动密封形成密闭空间,所述加热盘置于该密闭空间内且通过调平机构固定于底座上,所述腔体上设有充气孔。本实用新...
该专利属于苏州光舵微纳科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州光舵微纳科技有限公司授权不得商用。

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