下载具有阈值电压设置凹槽的晶体管及其制造方法的技术资料

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结构和制造其的方法涉及深耗尽沟道(DDC)设计,允许基于CMOS的器件具有比传统体CMOS减小的σVT,并可以允许精确得多地设置沟道区中具有掺杂剂的FET的阈值电压VT。表示独特的凹槽的创新掺杂剂剖面实现了在精确范围内的VT设定的调整。通过...
该专利属于苏沃塔公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏沃塔公司授权不得商用。

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