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切割用粘合片及使用了切割用粘合片的半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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下载切割用粘合片及使用了切割用粘合片的半导体装置的制造方法的技术资料
文档序号:8659839
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本发明的目的在于提供在对半导体晶圆进行激光划片时可防止吸附工作台损伤的切割用粘合片。本发明提供一种切割用粘合片,其为具有基材和设置在基材上的粘合剂层的切割用粘合片,在粘合剂层中,相对于100重量份树脂固体成分,含有0.02~5重量份的紫外线...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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