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半导体装置用薄膜以及半导体装置制造方法及图纸
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文档序号:8659838
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本发明提供一种带有切割片的胶粘薄膜,将在切割薄膜(11)上层叠有胶粘薄膜(12)的带有切割片的胶粘薄膜(1)以预定的间隔层叠在覆盖薄膜(2)上而得到半导体装置用薄膜(10),将半导体装置用薄膜(10)卷绕为卷筒状时可以保持转印痕迹的抑制功能...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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