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一些实施例包括当保持所沉积含铜材料的温度大于100℃时利用所述含铜材料的物理气相沉积来沉积所述含铜材料的方法。一些实施例包括如下方法：用含金属组合物给开口加衬，当含铜材料的温度不大于约0℃时在所述含金属组合物上方物理气相沉积所述含铜材料，且...
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