下载具有压阻式传感器芯片元件的压力传感器的技术资料

文档序号:8659487

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本发明涉及压力传感器,包括:压阻式传感器芯片元件(2),其具有用于测量环绕元件(2)流动的压力介质(14)的压力的封闭的芯片腔(27)和元件底面(5);以及支承件(6),其具有支承件顶面(7),传感器芯片元件(2)的底面(5)被固定到支承件...
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