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一种磁性材料溅射靶，其为厚度1~10mm的圆板状磁性材料溅射靶，其特征在于，在该靶的背面具有至少一个宽度5~20mm、深度0.1~3.0mm、以该圆板状靶的中心为中心的圆沟，各沟的间隔为10mm以上，并且在所述沟中填入有热导率为20W/m·...
该专利属于吉坤日矿日石金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过吉坤日矿日石金属株式会社授权不得商用。

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