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一种加热装置，其具备：应在真空中被加热的被加热体；构成为能够从被加热体分离、并且在自身与被加热体之间形成有间隙的加热体；和用于向间隙导入传热气体的气体导入路径。被加热体通过传热气体由加热体加热。加热装置的例子是蒸着装置（30）。被加热体的例...
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