下载碳薄膜、光学元件成形用模具及光学元件的制造方法的技术资料

文档序号:8658772

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本发明是关于碳薄膜、光学元件成形用模具及光学元件的制造方法。ta-C薄膜(1A)是在基材(10)上依序层叠第1单位构造(11)及第2单位构造(12)而形成。所述第1单位构造(11),是在第1层(11a)及第2层(11b)中sp3键的含量互不...
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