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双波长锑化物应变量子阱半导体激光器及其制备方法技术
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文档序号:8657024
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本发明公开了一种双波长锑化物应变量子阱半导体激光器及其制备方法,该激光器由下至上依次包括n型电极、n型衬底、缓冲层、第一n型下限制层、第一下波导层、第一有源区、第一上波导层、第一p型上限制层、隧穿pn结、第二n型下限制层、第二下波导层、第二...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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