下载一种倒装LED芯片及其制造方法的技术资料

文档序号:8656822

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本发明提供一种倒装LED芯片及其制造方法,包括:提供衬底,在衬底上沉积外延层,所述外延层包括N型氮化镓层、多量子阱有源层和P型氮化镓层;刻蚀所述外延层,形成台阶阵列,所述台阶阵列暴露出N型氮化镓层;在所述P型氮化镓层上形成第一金属层;对所述...
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