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基于石墨烯薄膜的透明电极的制备方法技术
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文档序号:8656808
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基于石墨烯薄膜的透明电极的制备方法,在石墨烯薄层与器件表面之间插入ITO纳米薄层;包括以下步骤:将GaN基LED外延片(208)进行清洗;在p-GaN层(203)上制作第一纳米ITO薄层(202),厚度为7-10nm;退火;将第二石墨烯薄膜...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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