下载一种纳米银圆环局域表面等离激元增强型发光二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:8656803

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本发明涉及纳米银圆环局域表面等离激元增强型发光二极管,同时还涉及其制备方法,属于纳米光电子器件材料技术领域。该二极管包括P型硅基底,P型硅基底上的纳米银圆环;沉积在纳米银圆环覆盖P型硅基底的掺氧a-SiNx:O薄膜发光有源层;掺氧a-SiN...
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