下载一种发光二极管的研磨下蜡方法的技术资料

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本发明提供了一种发光二极管的研磨下蜡方法,采用增加缓冲层、在液体中下蜡的方式,有效降低裂片率、提高良率,降低成本。减薄前,将载片盘表面用高温膜或镜头纸保护,起到外延片与载片盘间的缓冲作用;将减薄后的外延片连同载片盘放入水溶性去蜡液中进行下蜡...
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