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本发明公开了一种提高硅基薄膜太阳能电池光电转换效率的方法，包括：在玻璃或其它透明基板上沉积透明导电氧化物薄膜；在透明导电氧化物薄膜表面依次沉积多结微晶硅或非晶硅电池；在电池表面沉积背电极形成电池芯片；所述方法还包括对所述电池芯片进行热处理和...
该专利属于福建铂阳精工设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建铂阳精工设备有限公司授权不得商用。

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