下载一种晶体硅背面点接触的制备方法的技术资料

文档序号:8656780

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本发明公开了一种晶体硅背面点接触的制备方法,包括如下步骤:1)对单晶硅片表面去除损伤层并形成织构化绒面结构;2)将制绒好的硅片插入石英舟中扩散形成PN结,在硅片的正面形成方块电阻;3)去除硅片四周和背面的PN结,同时采用HF去粗扩散形成磷硅...
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