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双MOS结构的光电探测器制造技术
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文档序号:8656769
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本发明公开了一种具有双MOS结构的光电探测器,主要解决了光电探测器的响应度与响应速度之间制约关系的问题。该光电探测器自上而下依次包括:透明的导体氧化物层(1),上二氧化硅层(2),硅本征层(3),下二氧化硅层(4),金属层(5)。硅本征区(...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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