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本发明涉及一种影像传感器的制造方法，包括器件晶圆平整度研磨，器件晶圆的键合，器件晶圆背面减薄，器件晶圆背面表面研磨，淀积，彩色滤光片和微透镜的安装，所述器件晶圆背面表面处理采用射频发生器发出的射频激发去耦合化等离子体氧化物产生等离子对器件晶...
该专利属于陆伟所有，仅供学习研究参考，未经过陆伟授权不得商用。

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