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三维的芯片到晶圆级集成制造技术
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文档序号:8656705
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公开了一种三维的芯片到晶圆级集成,集成电路器件包括半导体基底和附接到该半导体基底的晶粒。导电柱被连接到半导体基底或晶粒中的至少一个。二次塑模被模制到半导体基底上位于晶粒上方,并且导电柱延伸通过二次塑模。...
该专利属于马克西姆综合产品公司所有,仅供学习研究参考,未经过马克西姆综合产品公司授权不得商用。
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