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一种图像检测自动定位晶圆位置的方法技术
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文档序号:8656688
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本发明涉及一种图像检测自动定位晶圆位置的方法,晶圆固定于全自动晶圆划片机的数控系统划片运动平台,晶圆的晶格形状规则,采用Hough变换检测晶圆图像上芯片引脚的特征直线边缘或圆特征来确定晶圆的位置。本发明通过采用Hough变换检测晶圆图像上芯...
该专利属于福建省威诺数控有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建省威诺数控有限公司授权不得商用。
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