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在基板处理装置（1）中，通过由二氧化碳溶解单元（62）控制二氧化碳向纯水的溶解量，使除电液的电阻率成为目标电阻率。接着，通过除电液供给部（6）向基板（9）上供给电阻率比SPM液的电阻率大的除电液，使除电液充满基板（9）的整个上表面（91），...
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