下载一种用于在单纳米线上制备电极的方法的技术资料

文档序号:8656660

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本发明公开一种用于在单纳米线上制备电极的方法,该方法用来在纳米线的特定位置上制备电极实现电接触,主要通过纳米线的转移、分散,电子束光刻套刻和纳米薄膜沉积等微纳米制造工艺实现,本发明方法的主要特点是使用Al薄膜作为电子束光刻的导电层和纳米线的...
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