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一种基于级联硅波导与边腔耦合的光子晶体传感器阵列制造技术
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下载一种基于级联硅波导与边腔耦合的光子晶体传感器阵列的技术资料
文档序号:8655082
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本发明涉及一种利用优化的硅波导将边腔耦合光子晶体波导级联构成的传感器阵列的实现方法,属于光子晶体传感器技术领域。本发明首次将三个可独立工作的边腔耦合光子晶体波导用优化的硅波导进行级联,实现光子晶体传感器阵列。本发明采用优化的级联硅波导,使得...
该专利属于北京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京邮电大学授权不得商用。
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