下载一种可降低误差的传感器及其测量方法的技术资料

文档序号:8654909

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本发明公开了一种可降低误差的传感器及其测量方法,传感器结构包括:第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔。测量压力方法:加热电阻通电加热第一基板的空腔,其空腔内空气热胀加压...
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