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一种可降低误差的传感器及其测量方法技术
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下载一种可降低误差的传感器及其测量方法的技术资料
文档序号:8654909
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本发明公开了一种可降低误差的传感器及其测量方法,传感器结构包括:第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔。测量压力方法:加热电阻通电加热第一基板的空腔,其空腔内空气热胀加压...
该专利属于南京高华科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京高华科技有限公司授权不得商用。
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