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文档序号:8654779

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本发明涉及图像测量系统。一种图像测量系统包括投射光学系统5,其具有光投射光轴26和用于发射照明光29的光源27,并通过光投射光轴投射照明光、光检测光学系统6,其具有光检测光轴15和图像拾取元件13,并由图像拾取元件通过光检测光轴从要测量对象...
该专利属于株式会社拓普康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社拓普康授权不得商用。

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