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一种碲化锌（ZnTe）同质外延层的制备方法，属半导体材料制备技术领域，采用低压金属有机化学气相外延工艺，以二甲基锌和二乙基碲为金属有机源，用氢气作为载气，用低压金属有机化学气相外延设备在ZnTe（100）衬底上生长碲化锌外延层。本发明方法制...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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