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本发明实施例公开了一种刻蚀方法，应用于太阳能电池生产领域，本发明实施例包括：步骤1，向反应室内通入反应气体，利用射频辉光将反应气体激发为等离子体，所述反应气体包括氧气，步骤2，减小通入反应室的氧气浓度，继续利用射频辉光将所述反应室的反应气体...
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