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本发明涉及一种用于氯气刻蚀烘烤设备的反应罩，该反应罩由耐温、隔热并具有高透光性的材料整体制成，并在其顶面设有用于容纳温度测量装置的第一管和供气体进入的第二管。第二管通入到设置在反应罩内的多层孔板结构，第一管穿透多层孔板结构而通到反应罩内部。...
该专利属于杭州士兰明芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州士兰明芯科技有限公司授权不得商用。

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