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本发明公开了一种加热装置。所述加热装置包括托盘和位于所述托盘下方的加热器，所述加热器包括多个加热区域；还包括多个气体填充单元；所述多个气体填充单元分别向所述加热器的各个加热区域与托盘之间的间隙中提供的缓冲气体的热传导系数不同，则在对应不同加...
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