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本发明实施例提供一种化学气相沉积工艺的石墨盘、反应腔室和对衬底的加热方法，其中所述石墨盘具有凹槽，所述凹槽所在的位置具有与之对应的支撑架，所述支撑架用于将衬底悬置，使得衬底与石墨盘不接触。本发明通过将衬底悬置，使得石墨盘对衬底的加热为热辐射...
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