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本发明公开了一种喷淋头。包括顶板和气体分配板，所述顶板与所述气体分配板之间限定气体扩散腔；所述气体分配板具有多个贯穿所述气体分配板的出气通道，连接所述气体扩散腔，所述喷淋头还包括隔板；所述隔板设置在所述顶板与所述气体分配板之间，所述隔板将所...
该专利属于光达光电设备科技（嘉兴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光达光电设备科技（嘉兴）有限公司授权不得商用。

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