温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种薄膜沉积系统及薄膜沉积方法，薄膜沉积系统，可用以在一个或多个基板上形成一层或多层的材料层，该薄膜沉积系统包括有一真空室及位于真空室的喷气单元。真空室的腔壁上设置有一腔门，并可在真空状态下对真空室的一个或多个基板进行装载及卸载。...
该专利属于绿种子材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绿种子材料科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。