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本发明公开了一种反应腔室。所述反应腔室包括腔体、设置在所述腔体顶部的喷淋头和设置在所述腔体底部且与所述喷淋头相对设置的托盘，所述托盘下方具有加热器。所述反应腔室还包括保温结构，所述保温结构环绕在所述托盘周围。在托盘边缘设置保温结构，能够减少...
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