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本发明涉及半导体生产设备的设计领域，尤其涉及采用电磁加热的CVD设备。本发明提供采用电磁加热的CVD设备，通过设置与传输带配合的滚筒组，达到壳体与传输带之间动态的密封效果；通过设置供惰性气体进入的进气口和离开的排气口达到避免放置于所述传输带...
该专利属于王奉瑾所有，仅供学习研究参考，未经过王奉瑾授权不得商用。

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