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本发明公开了一种纳米晶复合涂层的制备方法，通过等离子体浸没离子注入与沉积法制备纳米晶复合涂层，其具体步骤为：1)真空室抽真空；2）Ti阴极和SiAl阴极通过电弧放电产生Ti、Si、Al等离子体；3）真空室内通N2和C2H2；4）偏压吸引Ti...
该专利属于苏州格科特真空镀膜技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州格科特真空镀膜技术有限公司授权不得商用。

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