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本发明公开了一种CIGS薄膜电池的激光沉积制备工艺，依次在Mo玻璃衬底上沉积钠化合物薄膜、CIGS薄膜、缓冲层薄膜和窗口层薄膜得到CIGS器件；本发明针对CIGS薄膜电池多层膜的特点，采用简洁的多靶连续旋转激光沉积，在同一真空腔内，共享一套...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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