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本发明适用于材料镀膜设备领域，公开了一种采用激光加热的PVD设备，包括壳体，所述壳体具有密封的腔体，所述腔体内设有用于容放靶材的蒸发舟，所述壳体两相对的侧面分别开设有供待镀材料进入的进料口、供所述待镀材料离开的出料口，所述腔体内还设置有用于...
该专利属于王奉瑾所有，仅供学习研究参考，未经过王奉瑾授权不得商用。

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