温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体生产设备领域，尤其涉及采用光加热的PVD设备。本发明提供采用光加热的PVD设备，通过设置与传输带配合的滚筒组，达到壳体与传输带之间动态的密封效果；同时，在所述下腔内设置移动靶舟，通过移动靶舟在所述下腔体的移动，实现对放置于所...
该专利属于王奉瑾所有，仅供学习研究参考，未经过王奉瑾授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。