温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明适用于材料镀膜设备领域，提供了一种采用电磁加热的PVD设备，包括壳体，壳体具有密封的腔体，壳体内设置有将腔体分隔为上腔和下腔的密封装置，用于容放靶材并将靶材蒸发形成镀膜的蒸发舟设置于下腔内，壳体两相对的侧面分别开设有供待镀材料进入的进...
该专利属于王奉瑾所有，仅供学习研究参考，未经过王奉瑾授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。