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本发明提供了一种大气辉光放电低温等离子体镀膜装置，属于材料制备领域，该装置可降低设备复杂程度、易操作，而且可节约整体镀膜工艺的成本，其结构包括放电管，所述的放电管上端设有管塞，管塞上设有通孔；所述的管塞的底部通过盲孔插置有棒状电极；所述的放...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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