下载一种抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法的技术资料

文档序号:8651775

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本发明涉及一种抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法。其步骤为:1)将造渣剂装入中频炉石墨坩埚中加热熔化,得到渣夜,保温;2)在矿热炉出硅液过程中,向抬包底部持续通入空气和氧气的混合气体;3)待出硅液完成后,将中频炉石墨坩埚中的渣液倒入抬包中,同时...
该专利属于福建兴朝阳硅材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建兴朝阳硅材料股份有限公司授权不得商用。

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