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一种基于蓝光激光直写的金属微结构加工方法技术
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文档序号:8651717
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本发明公开了一种基于蓝光激光直写的金属微结构加工方法,它是将蓝光激光器输出的激光光束聚焦到银盐感光薄膜上,并对银盐感光薄膜进行二维扫描直写曝光得到由银线构成的金属微结构图形,然后对银盐感光薄膜进行清洗。本发明可在曝光中即可直接一步生成银线,...
该专利属于中国计量学院所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量学院授权不得商用。
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