下载一种平面碳膜电极的制备方法的技术资料

文档序号:8651715

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本发明公开了一种平面碳膜电极的制备方法,涉及电化学微纳米加工技术领域。具体步骤是:将光刻胶均匀地旋涂在导电基体上,随后在具有一定压力的惰性气体保护下,通过程序升温使光刻胶依次发生软化和碳化,并最终形成导电碳膜;最后采用树脂封装制成平面碳膜电...
该专利属于厦门大学;大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学;大连理工大学授权不得商用。

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